In dieser Studie werden umfassende Prüfungen zur Partikelzählung in der Luft durchgeführt, um die Filtrationseffizienz und die Kontaminationskontrolle von Lüfterfiltergeräten (FFU) in Reinräumen zu bewerten.Die Analyse umfaßt die Partikelgrößenverteilung (0.3μm ∼5.0μm), Einheitlichkeit des Luftstroms und Einhaltung der ISO 14644-Reinheitsnormen, die kritische Daten für die FFU-Optimierung und die Validierung von Reinräumen liefern.