Neue Lösungen für Reinräume in der Energiewirtschaft: Lithiumbatterien, Photovoltaik, Wasserstoff
May 9, 2025
I. Lösungen für die Herstellung von Lithiumbatterien
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Elektrodenbeschichtung
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Anti-statische Reinräume (ISO-Klasse 6):
FFU mit Ionisatoren steuern die statische (< 50 V) Umschlagfähigkeit von Lithium-Kobalt-Oxid-Staub während der Schlammbeschichtung zu verhindern. -
Luftfeuchtigkeitskontrolle: Modulare Reinräume halten die pH-Wertung bei 30-40%, um eine Aufnahme von Lösungsmitteln beim Trocknen der Anoden/Kathoden zu vermeiden.
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Zellmontage
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Trockenräume (ISO-Klasse 5):
Laminare Strömungshütten + Trocknungsmittelsysteme erreichen bei Stapeln und Schweißen eine RH von ≤ 1% zur Verhinderung der Elektrolythydrolyse. -
ESD-sichere Passboxen:
Übertragungsscheider und -folien mit leitfähigen Behältern zur Vermeidung statischer Entladungsgefahren.
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II. Photovoltaikproduktionslösungen
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Schneiden von Silikonwaffen
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ISO-Klasse 4 Diamantdrahtsägen:
FFU-Arrays entfernen Siliziumstaub (<0,1μm Partikel), um Mikrorisse zu minimieren und die Waferleistung zu verbessern. -
Kühlmittelfiltration:
HEPA-filterte Luftvorhänge isolieren Schneidflüssigkeitsnebel von sauberen Zonen.
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Dünnschicht-Solarbeschichtung
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Vakuumfähige Reinräume:
Modularen Kammern mit magnetischen Flüssigkeitsdichtungen werden bei PVD/CVD-Prozessen ≤ 100 Partikel/m3 gehalten. -
Handschuhboxensysteme:
Sauerstofffreie Umgebungen (< 1 ppm) für die Ablagerung der Perovskit-Schicht
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III. Lösungen für Wasserstoffbrennstoffzellen
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MEA (Membran-Elektrodenanlage)
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ISO Klasse 3 Reinräume:
ULPA-filterte laminare Durchflussarbeitsplätze für Katalysator-Tinte (Pt/C Partikelkontrolle ≤ 0,05μm). -
Luftfeuchtigkeitsdichte Passboxen:
Protonenaustauschmembranen bei 50-60% RH übertragen, um eine Dehydrierung zu verhindern.
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Herstellung von Bipolarplatten
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Korrosionsbeständige Reinräume:
Modularen Wänden aus Edelstahl + FFU mit chemischen Filtern für die Bearbeitung von Graphit-/Verbundplatten.
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IV. Kernvorteile im Wettbewerb
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Kontaminationsbekämpfung: Erreichen von <0,1% Defektraten in der Elektrodenbeschichtung durch Partikelentfernung von 0,3 μm.
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Energieeffizienz: 35% geringere HVAC-Kosten durch intelligente FFU-Zonierung für Trockenräume.
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Einhaltung der Vorschriften: Erfüllt die Normen IEC 62902 (Li-Ionen-ESD), SEMI F21 (PV) und ISO 14644-1 Klasse 3.
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Ramp-Up bereitModulare Reinräume werden in 3 Wochen für die Erweiterung der Gigafabrik eingesetzt.